电容薄膜真空计测量结果与温度关系的实验研究

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1兰州空间技术物理研究所 国防科技工业真空一级计量站,兰州,730000


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利用直接比较法装置,对满量程为133Pa的电容薄膜真空计进行实验.系统研究了在15.0℃~26.1 ℃范围内的测量结果与温度之间的关系,考察了在不同温度下零点漂移的情况.在实验中,将690 A型满量程为133 Pa的电容薄膜真空计作为参考.研究表明,在不同的温度下,两种电容薄膜真空计均有良好的线性,并且与23℃情况下的偏差基本与温差成正比.而零点漂移与温度的关系不明显,但总体上呈现随着温差的增加,零点漂移更严重的趋势.

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