利用H3PO4液层侧面红外热像研究YBCO高温超导薄膜的激光辅助刻蚀特性

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1成都市电子科技大学,电子工程学院,微波中心,四川,成都,610054


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利用红外热像实时监测系统,获取钇钡铜氧激光辅助化学刻蚀中H3PO4液层的侧面红外热像,研究了其溶液温度分布与热对流特性,并对红外监测数据与钇钡铜氧薄膜激光化学刻蚀特性的关系进行了分析.主要实验结论包括:红外灰度图可真实反映溶液的温度分布和热对流情况,为激光化学刻蚀的热环境分析提供有价值的红外监测数据;通过任意时刻钇钡铜氧表面生成热流所到达高度的分布情况和该时刻的红外灰度图,分析出钇钡铜氧薄膜表面各区域的腐蚀启动先后和刻蚀程度差异等重要信息,为钇钡铜氧及其它材料的激光化学刻蚀特性的实时监测提供了一种新的技术手段.

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DOI: http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1674-0475.2006.06.004

语种: 中文   

基金国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA306421)

关键词激光化学刻蚀 红外技术 高温超导 钇钡铜氧


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