成像激光雷达中的MEMS振镜振动特性研究

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1哈尔滨工业大学光电子技术研究所,黑龙江哈尔滨150001


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分析了激光成像雷达系统中的微机电系统(MEMS)振镜的振动特性,对影响MEMS振动角度的关键因素:频率和驱动电压对振动角度的影响进行了实验测量.研究结果表明,选择60~200 Hz要求的扫描频率、60 V以上的驱动电压可以实现角度相对较大、同时又能满足系统64~256 s-1分辨率要求.

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DOI: http://dx.doi.org/10.3788/AOS201434.s111004

语种: 中文   

基金国家自然科学基金(61078063)

关键词成像系统 激光成像雷达 微机电系统 频率 角度


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